-
Կիսահաղորդչային զոնդային սարքավորումների կերամիկական պահեստամասեր
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
Կերամիկական թիթեղյա կիսահաղորդչային սարքավորումների կրող
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
Կիսահաղորդչային սարքավորումների կերամիկական պահեստամասեր
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
Բարձր մաքրության ալյումինե կերամիկական կնքման օղակ բարձր ջերմաստիճանի խցիկի կնքման համար
St.Cera-ի կերամիկական կնքման օղակը նախագծված է որպես պոլիմերային O-օղակների այլընտրանք ծայրահեղ միջավայրերում, որտեղ էլաստոմերները քայքայվում են: Պատրաստված 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃), այս կոշտ կնքման օղակը օգտագործվում է ստատիկ կնքման կիրառություններում՝ սովորաբար զուգակցված փափուկ մետաղի կամ գրաֆիտային միջադիրի հետ՝ մինչև 800°C ջերմաստիճաններում և ագրեսիվ պլազմային կամ քիմիական միջավայրերում հուսալի վակուում կամ գազի պահպանում ապահովելու համար: Նյութը ապահովում է զրոյական արտանետում, բարձր սեղմման ամրություն (հիմնական ճկման ամրություն՝ 361 ՄՊա) և քիմիական իներտություն (դիմակայուն է հալոգենների, թթուների և ալկալիների նկատմամբ, բացառությամբ HF-ի): Ճշգրիտ շերտավորված կնքման մակերեսները (հարթություն ≤5 մկմ, մակերեսի կոպտություն Ra ≤0.2 մկմ) ապահովում են արտահոսքից պաշտպանված շփում զուգակցվող մետաղական կամ կերամիկական բաղադրիչների հետ:
-
Բարձր մաքրության ալյումինե խցիկի ֆոկուսային օղակ պլազմային փորագրման և CVD համակարգերի համար
St.Cera-ի խցիկի ֆոկուսային օղակը կարևորագույն տեխնոլոգիական հավաքածուի բաղադրիչ է, որն օգտագործվում է պլազմային փորագրման, CVD և PVD կիսահաղորդչային սարքավորումներում: Պատրաստված 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃), օղակը շրջապատում է վաֆլիի եզրը՝ պլազման սահմանափակելու և իոնների անկյունային բաշխումը օպտիմալացնելու համար, դրանով իսկ բարելավելով փորագրման միատարրությունը վաֆլիի մակերեսին: Նյութը առաջարկում է բացառիկ պլազմային դիմադրություն, բարձր դիէլեկտրիկ ամրություն (15×10⁶ V/մ) և ջերմային կայունություն մինչև 1600°C, ապահովելով երկարատև հուսալիություն ֆտորի կամ քլորի վրա հիմնված ագրեսիվ պլազմային միջավայրերում: Ճշգրիտ հղկված ID/OD-ն և հարթությունը (≤10 մկմ) հնարավորություն են տալիս վաֆլիի եզրի ճշգրիտ դիրքավորում, նվազեցնելով եզրի արատները և մասնիկների առաջացումը:
-
Բարձր մաքրության ալյումինե կերամիկական օղակ CVD / PVD պրոցեսային խցիկների համար
St.Cera-ի կերամիկական օղակը հատուկ նախագծված է CVD (քիմիական գոլորշու նստեցում) և PVD (ֆիզիկական գոլորշու նստեցում) պրոցեսային խցիկներում օգտագործելու համար: Պատրաստված 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃), այս օղակը ծառայում է որպես խցիկի ծածկույթ, ֆոկուսային օղակ կամ պրոցեսային հավաքածուի բաղադրիչ՝ պլազման սահմանափակելու և խցիկի պատերը էրոզիայից պաշտպանելու համար: Նյութը առաջարկում է գերազանց պլազմային դիմադրություն, բարձր դիէլեկտրիկ ամրություն (15×10⁶ V/մ) և ջերմային կայունություն մինչև 1600°C, ապահովելով երկարատև ծառայության ժամկետ ֆտորի վրա հիմնված ագրեսիվ պլազմային միջավայրերում: Չափերի ճշգրիտ շեղումները (±0.05 մմ ներքին/արտաքին մակերեսի վրա) և հարթությունը (≤10 մկմ) հնարավորություն են տալիս ապահովել վաֆլիի եզրերի կայուն դիրքավորում, բարելավել նստեցման միատարրությունը և նվազեցնել մասնիկների առաջացումը:
-
Բեռնուլիի կերամիկական ծայրային էֆեկտոր — Նուրբ և փխրուն վաֆլիների համար նախատեսված անհպումային մշակում
St.Cera-ի Bernoulli կերամիկական ծայրային էֆեկտորը օգտագործում է աերոդինամիկ վերելակ՝ վաֆլիները առանց ֆիզիկական շփման կարգավորելու համար: Պատրաստված լինելով բարձր մաքրության 99.8% ալյումինից (Al₂O₃) կամ սիլիցիումի կարբիդից (SiC), այն ունի ճշգրիտ մշակված ծայրակալներ, որոնք արտանետում են ճնշման տակ գտնվող գազ՝ ծայրային էֆեկտորի և վաֆլիի միջև ստեղծելով բարակ օդային թաղանթ: Այս անհպում սկզբունքը վերացնում է հետևի մասի աղտոտումը, եզրերի ճաքճքումը և մակերեսային վնասը, դարձնելով այն իդեալական բարակ (≤100 մկմ), փխրուն կամ ծռված վաֆլիների համար: Կերամիկական հիմքը ապահովում է բարձր ճկման ամրություն (361 ՄՊա Al₂O₃-ի համար, մինչև 550–600 ՄՊա SiC-ի համար), ցածր զանգված և գերազանց չափսերի կայունություն, ապահովելով կրկնվող դիրքավորում բարձր արագությամբ վաֆլի փոխանցման ռոբոտներում:
-
Բարձր մաքրության ալյումինե կերամիկական մասեր կիսահաղորդչային և արդյունաբերական կիրառությունների համար
St.Cera-ն արտադրում է ճշգրիտ մեքենայացված ալյումինե (Al₂O₃) կերամիկական մասեր՝ ըստ հաճախորդի պահանջների: Օգտագործելով 99.8% բարձր մաքրության ալյումինա, այս բաղադրիչները ապահովում են գերազանց ճկման ամրություն (361 ՄՊա), բարձր կարծրություն (16 ԳՊա) և բացառիկ դիէլեկտրիկ ամրություն (15×10⁶ Վ/մ): Նախատեսված լինելով կիսահաղորդչային սարքավորումների, մաշվածությանը դիմացկուն հավաքույթների, էլեկտրական մեկուսիչների և բարձր ջերմաստիճանային հարմարանքների համար, նյութն առաջարկում է գրեթե զրոյական ջրի կլանում (0%) և 7.2×10⁻⁶/℃ ջերմային ընդարձակման գործակից՝ ապահովելով չափային կայունություն ծայրահեղ պայմաններում:
-
Ծակոտկեն կերամիկական վակուումային խցիկ՝ ծռված վաֆլիների մշակման համար
St.Cera-ի ծակոտկեն կերամիկական մեխակը պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինից՝ 30–45% միատարր բաց ծակոտկենությամբ և 10-ից 100 մկմ ծակոտիների չափսերով: Ի տարբերություն ավանդական ակոսավոր մեխակների, ծակոտկեն մակերեսը ապահովում է բաշխված վակուում ամբողջ վաֆլիի հետևի մասում՝ արդյունավետորեն պահելով ծռված, բարակ կամ միակողմանի վաֆլիները առանց եզրերի բարձրացման կամ կոտրման: Նուրբ վակուումը (կարգավորելի սահմանափակիչի միջոցով) նաև կանխում է հետևի կողմի նշումը:
-
Ալյումինի վրա հիմնված ծակոտկեն կերամիկական վակուումային խրոց՝ բարակ վաֆլիների մշակման համար
St.Cera-ի ալյումինի հիմքով ծակոտկեն ամրակը պատրաստված է 99.6% բարձր մաքրության Al₂O₃-ից՝ 30–45% վերահսկվող բաց ծակոտկենությամբ և 10-ից մինչև 50 մկմ միատարր ծակոտկեն չափսերով: Ի տարբերություն ակոսավոր ամրակների, ծակոտկեն մակերեսը ապահովում է բաշխված վակուում ամբողջ վաֆլիի հետևի մասում, վերացնելով եզրերի վրա նշանները և հնարավորություն տալով նրբորեն ամրացնել գերբարակ (≤100 մկմ) կամ ծռված վաֆլիները: Նյութը ապահովում է ≥250 ՄՊա ճկման դիմադրություն և ջերմային կայունություն մինչև 400°C օդում:
-
Ալյումինե գազի բաշխման ափսե CVD/PVD ցնցուղի գլխիկի համար
St.Cera-ի գազի բաշխման թիթեղը (ցնցուղի գլխիկը) ճշգրիտ մեքենայացված է բարձր մաքրության 99.8% ալյումինա կերամիկայից: Այն ունի միկրոանցքերի մի շարք (տրամագիծը՝ 0.3–1.5 մմ), որոնք ապահովում են գազի միատարր հոսքը վաֆլիի մակերեսով CVD, PVD կամ ALD գործընթացների ժամանակ: Թիթեղի բարձր դիէլեկտրիկ ամրությունը (>15×10⁶ Վ/մ) և պլազմային դիմադրությունը այն դարձնում են կարևոր կիսահաղորդչային բարակ թաղանթային նստեցման համար:
-
Կիսահաղորդչային պրոցեսային հարմարանքների համար կերամիկական հենարանային քորոց
St.Cera-ի կերամիկական հենարանային քորոցները (հայտնի են նաև որպես բարձրացնող կամ հենարանային քորոցներ) օգտագործվում են կիսահաղորդչային պրոցեսային խցիկներում՝ վաֆլիները կամ հիմքերը բարձրացնելու համար մշակման, տաքացման կամ սառեցման ընթացքում: Պատրաստված լինելով 99.8% ալյումինից կամ սիլիցիումի նիտրիդից, այս քորոցները ապահովում են բարձր սեղմման ամրություն, ջերմային կայունություն և քիմիական դիմադրություն: Կիսագնդաձև կամ հարթ ծայրակալի դիզայնը կանխում է վաֆլիների քերծվելը:
