Բեռնուլիի կերամիկական ծայրային էֆեկտոր — Նուրբ և փխրուն վաֆլիների համար նախատեսված անհպումային մշակում

St.Cera-ի Bernoulli կերամիկական ծայրային էֆեկտորը օգտագործում է աերոդինամիկ վերելակ՝ վաֆլիները առանց ֆիզիկական շփման կարգավորելու համար: Պատրաստված լինելով բարձր մաքրության 99.8% ալյումինից (Al₂O₃) կամ սիլիցիումի կարբիդից (SiC), այն ունի ճշգրիտ մշակված ծայրակալներ, որոնք արտանետում են ճնշման տակ գտնվող գազ՝ ծայրային էֆեկտորի և վաֆլիի միջև ստեղծելով բարակ օդային թաղանթ: Այս անհպում սկզբունքը վերացնում է հետևի մասի աղտոտումը, եզրերի ճաքճքումը և մակերեսային վնասը, դարձնելով այն իդեալական բարակ (≤100 մկմ), փխրուն կամ ծռված վաֆլիների համար: Կերամիկական հիմքը ապահովում է բարձր ճկման ամրություն (361 ՄՊա Al₂O₃-ի համար, մինչև 550–600 ՄՊա SiC-ի համար), ցածր զանգված և գերազանց չափսերի կայունություն, ապահովելով կրկնվող դիրքավորում բարձր արագությամբ վաֆլի փոխանցման ռոբոտներում:

Նշում նյութերի վերաբերյալ.Ալյումինան (Al₂O₃) կիսահաղորդչային թիթեղների մշակման մեջ կերամիկական ծայրային էֆեկտորների համար ամենատարածված նյութն է՝ իր կարծրության, էլեկտրական մեկուսացման, քիմիական կայունության և ծախսարդյունավետության գերազանց համադրության շնորհիվ: Սիլիցիումի կարբիդը (SiC) ապահովում է ավելի բարձր ջերմահաղորդականություն, ավելի բարձր կարծրություն և նույնիսկ ավելի լավ մաշվածության դիմադրություն ամենախստապահանջ կիրառությունների համար: Մինչդեռ իտրիում-կայունացված ցիրկոնիումը (ZrO₂) ապահովում է բարձր կոտրման ամրություն սենյակային ջերմաստիճանում, այն ավելի քիչ է օգտագործվում այս կիրառության մեջ՝ իր ավելի բարձր խտության և տարբեր ջերմային ընդարձակման բնութագրերի պատճառով. այն կարող է դիտարկվել որոշակի իրավիճակներում, որտեղ պահանջվում է բացառիկ կոտրման ամրություն: Խնդրում ենք դիմել մեր տեխնիկական թիմին՝ նյութի ընտրության ուղեցույցի համար:

Տեխնիկական բնութագրեր(հիմնված 99.8% Al-ի վրա)₂O₃):

Գործողության սկզբունքը.

Սեղմված օդը կամ ազոտը (0.2–0.6 ՄՊա) մատակարարվում է ներքին խողովակներով և դուրս է գալիս ճշգրիտ ծորակների միջոցով: Արագացված օդի հոսքը ստեղծում է ցածր ճնշման գոտի ծայրային էֆեկտորի վերևում (Բեռնուլիի էֆեկտ), առաջացնելով բարձրացնող ուժ, որը պահում է վեֆրին 50–200 մկմ բացվածքով: Վեֆրի հետևի մասին չեն շփվում վակուումային անցքեր կամ բարձիկներ:

Կիրառություններ՝

• · Բարակ թիթեղների (≤50 մկմ) մշակում հետևի հղկումից հետո
• · Ծռված վաֆլիի տեղափոխում (օրինակ՝ CVD-ից կամ թրծումից հետո)
• · Արևային մարտկոցի և LED շափյուղայի հիմքի փոխանցում
• · Մաքուր սենյակի ավտոմատացում, որը պահանջում է մասնիկների զրոյական առաջացում
• · Ապակե վահանակների մշակում ցուցափեղկերի արտադրության մեջ

Արտադրական գործընթաց՝

Բարձր մաքրության փոշուց թրծված կերամիկական հիմք → գազային անցքերի և ծայրակալի անցքերի 5-առանցքային CNC մշակում (տրամագիծ 0.3–1.0 մմ, հանդուրժողականություն ±0.01 մմ) → մակերեսի հղկում մինչև Ra ≤0.4 մկմ → ուլտրաձայնային մաքրում → հելիումի արտահոսքի ստուգում (գազային անցքեր): Ծածկույթի կարիք չկա. մերկ կերամիկական մակերեսը քիմիապես իներտ է և չի աղտոտում:

Որակի վերահսկողություն:

• · Ծայրակալի դիրքերի, թևի երկարության և հարթության 100% չափային ստուգում (CMM)
• · Օդի հոսքի միատարրության փորձարկում. ճնշման անկում ≤5% բոլոր ծորակների վրա
• · Հոսքի ստուգում. գազային խողովակները կնքված են 0.6 ՄՊա ճնշման տակ, ճնշման անկում չկա 30 վայրկյանի ընթացքում
• · Տեսողական զննում 20× մանրադիտակի տակ՝ միկրոճաքերի կամ փոսերի առկայության համար

AԱռավելությունները սովորական կոնտակտային ծայրային էֆեկտորների համեմատ՝

• · Վաֆլիի հետևի մասի զրոյական աղտոտում՝ առանց մեխանիկական շփման
• · Բարակ վաֆլիները չեն կոտրվում կամ եզրերը չեն կոտրվում
• · Կարգավորում է ծռված վաֆլիները (մինչև 1 մմ աղեղ)՝ կայուն բացվածքով
• · Վերացնում է վակուումային գեներատորի և ծակոտկեն կեռիկի սպասարկումը
• · Կերամիկական կառուցվածքը դիմացկուն է մաշվածությանը և քիմիական ազդեցությանը

Անհատականացում։

• · Հասանելի է 200 մմ, 300 մմ կամ հատուկ վաֆլի չափերի համար
• · Գազի ծորակների նախշեր՝ ուղիղ, անկյունային կամ մրրկային տեսակներ
• · Նյութեր՝ ալյումինե ալյումին (ստանդարտ) կամ սիլիցիումի կարբիդ (ամենաբարձր ջերմահաղորդականության և մաշվածության դիմադրության համար)
• · Բռնակի երկարությունը, ամրացման եզրը և գազի անցքի տեղադրությունը՝ ըստ OEM նկարչության

Սահմանափակումներ՝

Բեռնուլիի սկզբունքի իրականացումը (ծայրակի նախագծում, օդային բացվածք) դուրս է տրամադրված նյութական հատկությունների աղյուսակների շրջանակից: Վերը նշված մեխանիկական և ջերմային հատկությունները խստորեն համապատասխանում են 99.8% Al₂O₃-ի համար տրամադրված տվյալների թերթիկներին: Այս նյութական հատկությունների հիման վրա ճնշման տակ գազի հոսքի տակ կերամիկայի կատարողականի վատթարացում չի սպասվում: Գազի հոսքի նկատմամբ զգայուն թիթեղների համար (օրինակ՝ փխրուն կառուցվածքներով MEMS), գազի ճնշումը և ծայրակի նախագծումը պետք է համապատասխանաբար կարգավորվեն: