Բարձր մաքրության ալյումինե խցիկի ֆոկուսային օղակ պլազմային փորագրման և CVD համակարգերի համար

St.Cera-ի խցիկի ֆոկուսային օղակը կարևորագույն տեխնոլոգիական հավաքածուի բաղադրիչ է, որն օգտագործվում է պլազմային փորագրման, CVD և PVD կիսահաղորդչային սարքավորումներում: Պատրաստված 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃), օղակը շրջապատում է վաֆլիի եզրը՝ պլազման սահմանափակելու և իոնների անկյունային բաշխումը օպտիմալացնելու համար, դրանով իսկ բարելավելով փորագրման միատարրությունը վաֆլիի մակերեսին: Նյութը առաջարկում է բացառիկ պլազմային դիմադրություն, բարձր դիէլեկտրիկ ամրություն (15×10⁶ V/մ) և ջերմային կայունություն մինչև 1600°C, ապահովելով երկարատև հուսալիություն ֆտորի կամ քլորի վրա հիմնված ագրեսիվ պլազմային միջավայրերում: Ճշգրիտ հղկված ID/OD-ն և հարթությունը (≤10 մկմ) հնարավորություն են տալիս վաֆլիի եզրի ճշգրիտ դիրքավորում, նվազեցնելով եզրի արատները և մասնիկների առաջացումը:

Տեխնիկական բնութագրեր(հիմնված 99.8% Al-ի վրա)₂O₃):

Կիրառություններ՝

• · Դիէլեկտրիկ փորագրման խցիկի ֆոկուսային օղակներ (օքսիդային, նիտրիդային փորագրություն)
• · Սիլիկոնային փորագրման խցիկի եզրային օղակներ
• · CVD խցիկի մշակման հավաքածուի օղակներ
• · PVD խցիկի վահան և սեղմիչ օղակներ

Արտադրական գործընթաց՝

Բարձր մաքրության ալյումինի փոշին ենթարկվում է իզոստատիկ սեղմման → կանաչ մեքենայացման՝ գրեթե զուտ ձևի → թրծման 1600°C ջերմաստիճանում → ID, OD և հաստության CNC ադամանդե հղկման → հղկում՝ ≤10 մկմ հարթության հասնելու համար → ուլտրաձայնային մաքրում → 100% CMM ստուգում: Մակերեսի մշակումը՝ Ra ≤0.4 մկմ, նվազագույնի է հասցնում մասնիկների կպչունությունը:

Որակի վերահսկողություն:

• · 100% չափերի ստուգում (ID, OD, հաստություն, զուգահեռություն)
• · Ներկանյութի թափանցելիության թեստ միկրոճաքերի համար (ճաքեր թույլատրված չեն)
• · Տեսողական զննում 20× մանրադիտակի տակ՝ չիպեր, խոռոչներ կամ գունաթափումներ չկան
• · Դիէլեկտրիկ ամրության փորձարկում ASTM D149-ի համաձայն (նմուշառում)

Առավելությունները սիլիկոնային կամ քվարցային ֆոկուսային օղակների նկատմամբ.

• · 5–10 անգամ ավելի երկար կյանքի տևողություն ֆտորածխածնային պլազմայում
• · Չկան սպառվող էրոզիայի մասնիկներ, որոնք կարող են աղտոտել վաֆլիները
• · Բարձր դիէլեկտրիկ ամրությունը կանխում է աղեղի առաջացումը
• · Պահպանում է հարթությունը և չափերի ճշգրտությունը հազարավոր ռադիոհաճախականության ժամերի ընթացքում

Այլընտրանքային նյութ՝ Իտրիում-կայունացված ցիրկոնիում (ZrO)₂):

Ավելի բարձր կոտրման դիմացկունություն պահանջող կիրառությունների համար (օրինակ՝ հաճախակի ջերմային ցիկլերով կամ մեխանիկական ցնցումներով խցիկներ), հասանելի են ZrO₂ ֆոկուսային օղակներ (խտություն 6.03 գ/սմ³, ծռման դիմացկունություն 1000 ՄՊա, կոտրման դիմացկունություն 5–8 ՄՊա·մ¹/²): Այնուամենայնիվ, ալյումինան առաջարկում է ավելի լավ ծախսարդյունավետություն և հանդիսանում է արդյունաբերական ստանդարտ ֆոկուսային օղակների կիրառությունների մեծ մասի համար:

Անհատականացում։

• · Աստիճանների պրոֆիլներ, հակադարձ անցքեր կամ ամրացման անցքեր՝ ըստ հաճախորդի նկարի
• · Y₂O₃ ծածկույթ՝ պլազմային էրոզիայի նկատմամբ դիմադրության բարձրացման համար (հաստությունը 20–100 մկմ)
• · Մասի համարի, ամսաթվի կոդի կամ հավասարեցման նշանների լազերային նշում

Նշում.Բոլոր տվյալները խստորեն համապատասխանում են տրամադրված Al₂O₃ հատկությունների աղյուսակին: ZrO₂-ի տեխնիկական բնութագրերի համար դիմեք տրամադրված ցիրկոնիումի տվյալների թերթիկին: Ֆոկուսային օղակների դիզայնը կարող է պահանջել արտոնագրային թույլտվություն. հաճախորդները պատասխանատու են մտավոր սեփականության իրավունքների ստուգման համար: