-
Ալյումինե բարձր ճշգրտության կերամիկական օղակաձև կերամիկական մասեր
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
ST.CERA կիսահաղորդչային սարքավորումների պատվերով պատրաստված կերամիկական կեռիկներ
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
Սիլիցիումի կարբիդային (SiC) կերամիկական ծայրային էֆեկտոր – բարձր կոշտություն բարձր ջերմաստիճանի վաֆլիների հետ աշխատելու համար
St.Cera-ի SiC կերամիկական ծայրային էֆեկտորը պատրաստված է բարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդից (SiC պարունակությունը՝ 99.72%, ազատ Si՝ 0.05%)՝ օգտագործելով S1111 խմբաքանակի նյութը: Այն առաջարկում է բացառիկ մեխանիկական հատկություններ՝ ճկման ամրություն՝ 449 ՄՊա (չափված), առաձգականության մոդուլ՝ 457 ԳՊա (չափված) և Վիկերսի կարծրություն՝ 25–28 ԳՊա (տիպիկ): Ցածր խտությունը (3.10–3.15 գ/սմ³, տիպիկ) ապահովում է բարձր տեսակարար կոշտություն, որը իդեալական է բարձր արագությամբ վաֆլի փոխանցման ռոբոտների համար: 120–150 Վտ/մ·Կ (տիպիկ) ջերմային հաղորդունակությամբ և 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ ջերմային ընդարձակման գործակցով (տիպիկ), այս ծայրային էֆեկտորը արդյունավետորեն ցրում է ջերմությունը և պահպանում է չափային կայունությունը բարձր ջերմաստիճաններում աշխատելու ընթացքում (մինչև 1600–1700°C, առանց բեռի): Սև/մոխրագույն գույնը և զրոյական ջրի կլանումը ապահովում են մաքուր սենյակների համատեղելիություն:
-
Սիլիցիումի կարբիդի (SiC) վրա հիմնված վակուումային խցիկ բարձր ջերմաստիճանի և պլազմային միջավայրերի համար
St.Cera-ի SiC-ի վրա հիմնված կերամիկական մեխակը պատրաստված է բարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդից (խմբաքանակ S1111, SiC 99.72%, ազատ Si 0.05%): Այն ապահովում է 449 ՄՊա չափված ճկման ամրություն, 3.12 ՄՊա·մ¹/² կոտրման ամրություն և 457 ԳՊա առաձգականության մոդուլ: Նյութի բնորոշ ջերմահաղորդականությունը (120–150 Վտ/մ·Կ) և ցածր ջերմային ընդարձակումը (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) հնարավորություն են տալիս արագ ջերմաստիճանի բարձրացում և նվազագույնի հասցնել վաֆլիի ծռումը ջերմային ցիկլի ընթացքում: Մեխակը կարող է կարգավորվել որպես ծակոտկեն վակուումային մեխակ (միատարր գազի հոսք) կամ ակոսավոր ստանդարտ մեխակ: 1600–1700°C առավելագույն օգտագործման ջերմաստիճանով (առանց բեռի) և պլազմային էրոզիայի բացառիկ դիմադրությամբ, այս մեխակը իդեալական է բարձր ջերմաստիճանային վաֆլի մշակման (թրծում, RTP) և ագրեսիվ փորագրման խցիկների համար, որտեղ ալյումինե մեխակները քայքայվում են:
-
Կիսահաղորդչային սարքավորումներ, կերամիկական պահեստամասեր, կերամիկական կրիչներ
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
Մետաղական հիմքով ալյումինա-կերամիկական հղկող օղակ բարձր կոշտության հղկման կիրառությունների համար
St.Cera-ի մետաղական հիմքով ալյումինի հղկման օղակը համատեղում է բարձր մաքրության ալյումինի (99.8% Al₂O₃) կերամիկական մաշվածության շերտը ճշգրիտ մշակված մետաղական հիմքի հետ (սովորաբար ալյումին կամ չժանգոտվող պողպատ): Այս հիբրիդային դիզայնը ապահովում է կերամիկայի բացառիկ մաշվածության դիմադրությունը և քիմիական իներտությունը հղկման մակերեսին, մինչդեռ մետաղական հիմքը ավելացնում է մեխանիկական ամրություն, հեշտ տեղադրում և փխրուն կոտրման դիմադրություն: Ալյումինի շերտը ապահովում է 361 ՄՊա ճկման ամրություն, 16 ԳՊա Վիկերսի կարծրություն և մինչև 800°C ջերմային կայունություն: Մետաղական հիմքը հարմարեցված է ամրացման անցքերով, տեղորոշիչ քորոցներով կամ մագնիսական հատկություններով՝ հղկող մեքենաների, մոլորակային հղկող սարքերի և CMP սարքավորումների մեջ ինտեգրվելու համար:
-
Կիսահաղորդչային զոնդային կայանի սարքավորումների կերամիկական պահեստամասեր
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
Al2O3 կերամիկական վաֆլիի չոկի անհատականացված մշակում
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
ST.CERA կիսահաղորդչային սարքավորումների կերամիկական ափսեի անհատականացում
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
12 դյույմանոց ալյումինե վակուումային խցիկ 300 մմ վաֆլի մշակման համար
St.Cera-ի 12 դյույմանոց վակուումային մեխակը ճշգրիտ նախագծված է 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃)՝ 300 մմ վաֆլիի մշակման համար: Մեխակն ունի նուրբ ակոսավոր մակերես (ակոսի լայնությունը՝ 0.5–1.0 մմ, քայլը՝ 2–3 մմ)՝ ամբողջ 300 մմ տրամագծով վակուումի միատարր բաշխումն ապահովելու համար: Հարթությունը պահպանվում է 5 մկմ սահմաններում, ինչը հնարավորություն է տալիս վաֆլիները ամրացնել առանց ծռմռման կտրման, հետևի հղկման և ստուգման ժամանակ: Նյութի բարձր ճկման ամրությունը (361 ՄՊա) և կարծրությունը (16 ԳՊա) երաշխավորում են երկարատև չափային կայունություն նույնիսկ կրկնվող վակուումային ցիկլերի դեպքում:
-
Ալյումինա-կերամիկական ծայրային էֆեկտոր՝ ինտեգրված վակուումային ալիքներով
St.Cera-ի ալյումինե վակուումային ծայրային էֆեկտորը ճշգրիտ մշակված վակուումային ալիքներն ու ներծծման անցքերը ինտեգրում է անմիջապես 99.8% բարձր մաքրության ալյումինե մարմնի մեջ: Այս դիզայնը վերացնում է արտաքին վակուումային բարձիկները, ինչը հնարավորություն է տալիս ուղղակիորեն վերցնել վաֆլիները միատարր պահող ուժով: Նյութի բարձր ճկման ամրությունը (361 ՄՊա) և կարծրությունը (16 ԳՊա) ապահովում են երկարատև չափսային կայունություն կրկնվող վակուումային ցիկլերի դեպքում: Բարձիկի մակերեսի հարթությունը պահպանվում է 10 մկմ-ի սահմաններում, կանխելով վաֆլիի լարվածությունը և կոտրվելը: Վակուումային անցքերը տեղակայված են հետևի ամրացման եզրին՝ OEM ռոբոտի թևերի հետ հեշտ ինտեգրման համար:
-
ESD-անվտանգ ալյումինա-կերամիկական մասեր՝ ստատիկ-զգայուն վաֆլիների մշակման համար
St.Cera-ի էլեկտրաստատիկ պարպման համար անվտանգ ալյումինա-կերամիկական մասերը պատրաստված են 99.8% բարձր մաքրության Al₂O₃-ից՝ 10⁶–10⁹ Ω/քառ. քառ. հարմարեցված մակերևութային դիմադրությամբ, որը ձեռք է բերվել սեփական լեգիրման կամ ծածկույթի գործընթացի միջոցով: Այս մասերը արդյունավետորեն ցրում են ստատիկ լիցքը՝ կանխելով զգայուն կիսահաղորդչային թիթեղների և սարքերի էլեկտրաստատիկ վնասը: Հիմքի նյութը պահպանում է իր բարձր ճկման ամրությունը (361 ՄՊա), կարծրությունը (16 ԳՊա) և դիէլեկտրիկ ամրությունը (15×10⁶ Վ/մ): ESD-անվտանգ կերամիկական մասերի թվում են ծայրային էֆեկտորները, բարձրացնող քորոցները, ուղղորդող ռելսերը և FAB ավտոմատացման համար նախատեսված հատուկ հարմարանքները:
