12 դյույմանոց ալյումինե վակուումային խցիկ 300 մմ վաֆլի մշակման համար

St.Cera-ի 12 դյույմանոց վակուումային մեխակը ճշգրիտ նախագծված է 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃)՝ 300 մմ վաֆլիի մշակման համար: Մեխակն ունի նուրբ ակոսավոր մակերես (ակոսի լայնությունը՝ 0.5–1.0 մմ, քայլը՝ 2–3 մմ)՝ ամբողջ 300 մմ տրամագծով վակուումի միատարր բաշխումն ապահովելու համար: Հարթությունը պահպանվում է 5 մկմ սահմաններում, ինչը հնարավորություն է տալիս վաֆլիները ամրացնել առանց ծռմռման կտրման, հետևի հղկման և ստուգման ժամանակ: Նյութի բարձր ճկման ամրությունը (361 ՄՊա) և կարծրությունը (16 ԳՊա) երաշխավորում են երկարատև չափային կայունություն նույնիսկ կրկնվող վակուումային ցիկլերի դեպքում:

Տեխնիկական բնութագրեր (99.8% Al₂O₃-ի հիման վրա):

Կիրառություններ՝

 300 մմ վաֆլիի կտրում և գծագրում
 Վաֆլիի հետևի մասի հղկում (բարակ վաֆլիի հենարան)
 Օպտիկական զննում և զոնդավորում
 Ժամանակավոր միացման/ապամոնտաժման կեռիկներ

Արտադրություն:

CNC հղկված և շերտավորված մինչև վերջնական հարթություն, ակոսավորված ադամանդե անիվներով, ուլտրաձայնային մաքրված և փաթեթավորված 100-րդ դասի մաքուր սենյակում: Յուրաքանչյուր պտուտակ 100% ստուգվում է հարթության (լազերային ինտերֆերոմետր) և ակոսի խորության (պրոֆիլոմետր) համար:

Առավելություններ:

 Մասնիկների ցածր առաջացում (≤0.05 մասնիկ/սմ²)

 Քիմիապես անգործունակ է լուծիչների և թթուների նկատմամբ

 ESD-անվտանգ մակերես (դիմադրություն >10¹³ Ω·սմ)

Հասանելի են վակուումային անցքերի պատվերով պատրաստված նախշեր և հետևի անցքեր։