Բարձր մաքրության ալյումինե կերամիկական օղակ CVD / PVD պրոցեսային խցիկների համար
St.Cera-ի կերամիկական օղակը հատուկ նախագծված է CVD (քիմիական գոլորշու նստեցում) և PVD (ֆիզիկական գոլորշու նստեցում) պրոցեսային խցիկներում օգտագործելու համար: Պատրաստված 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃), այս օղակը ծառայում է որպես խցիկի ծածկույթ, ֆոկուսային օղակ կամ պրոցեսային հավաքածուի բաղադրիչ՝ պլազման սահմանափակելու և խցիկի պատերը էրոզիայից պաշտպանելու համար: Նյութը առաջարկում է գերազանց պլազմային դիմադրություն, բարձր դիէլեկտրիկ ամրություն (15×10⁶ V/մ) և ջերմային կայունություն մինչև 1600°C, ապահովելով երկարատև ծառայության ժամկետ ֆտորի վրա հիմնված ագրեսիվ պլազմային միջավայրերում: Չափերի ճշգրիտ շեղումները (±0.05 մմ ներքին/արտաքին մակերեսի վրա) և հարթությունը (≤10 մկմ) հնարավորություն են տալիս ապահովել վաֆլիի եզրերի կայուն դիրքավորում, բարելավել նստեցման միատարրությունը և նվազեցնել մասնիկների առաջացումը:
Տեխնիկական բնութագրեր (հիմնված 99.8% Al₂O₃-ի վրա):
| Հողատարածք | Արժեք |
| Նյութ | 99.8% ալյումինա (փղոսկր) |
| Խտություն | 3.93 գ/սմ³ |
| Ջրի կլանումը | 0% |
| Ճկման ամրություն | 361 ՄՊա |
| Կոտրվածքի դիմացկունություն | 3–4 ՄՊամ·մ¹/² |
| Վիկերսի կարծրություն | 16 GPa |
| Յունգի մոդուլը | 380 ԳՊա |
| Ջերմահաղորդականություն | 32 Վտ/մ² |
| Ջերմային ընդարձակում (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Դիէլեկտրիկ ամրություն | 15×10⁶ Վ/մ |
| Հատուկ դիմադրություն | >10¹⁴ Ω·սմ |
| Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը | 1600°C |
Կիրառություններ՝
- · CVD խցիկի ֆոկուսային օղակներ և եզրային օղակներ
- · PVD խցիկի վահանի օղակներ և սեղմիչ օղակներ
- · Փորագրող խցիկի ծածկույթներ և ծածկող օղակներ
- · Պլազմային սահմանափակման օղակներ դիէլեկտրիկ փորագրման համակարգերում
Արտադրական գործընթաց՝
Իզոստատիկ սեղմում → կանաչ մշակում → սինտերացում 1600°C-ում → CNC ID/OD հղկում → մակերեսի հղկում → ուլտրաձայնային մաքրում → 100% CMM ստուգում: Մակերեսի գերհարթ մշակումը (Ra ≤0.4 մկմ) նվազագույնի է հասցնում մասնիկների կպչունությունը:
Որակի վերահսկողություն:
- · 100% չափերի ստուգում (ID, OD, հաստություն, հարթություն)
- · Ներկանյութի թափանցող նյութի ստուգում մակերեսային միկրոճաքերի համար
- · Դիէլեկտրիկ ամրության փորձարկում ASTM D149-ի համաձայն
- · 20× մանրադիտակի տակ տեսանելի գունաթափում կամ ծակոտկենություն չկա
Առավելությունները մետաղական կամ քվարցե օղակների նկատմամբ.
- · Ֆտորային պլազմայում 5–10 անգամ ավելի երկար կյանքի տևողություն, քան ալյումինե օղակները
- · Բարակ թաղանթներում մետաղական աղտոտվածություն չկա
- · Քվարցի համեմատ ավելի բարձր պլազմային դիմադրություն (էրոզիայի փոսեր չկան)
- · Պահպանում է էլեկտրական մեկուսացումը >10¹⁴ Ω·սմ նույնիսկ երկարատև օգտագործումից հետո
Այլընտրանքային նյութ՝ սիլիցիումի նիտրիդ (Si)₃N₄):
Ավելի բարձր կոտրման դիմադրության (6.2 ՄՊա·մ¹/²) և ավելի լավ ջերմային ցնցումների դիմադրության (ընդարձակման գործակից 3.2×10⁻⁶/℃) պահանջող կիրառությունների համար հասանելի են Si₃N₄ օղակներ: Այնուամենայնիվ, ալյումինն ավելի մատչելի է CVD/PVD կիրառությունների մեծ մասի համար: Խնդրում ենք պատվիրելիս նշել նախընտրելի նյութը:
Անհատականացում։
- · Անցքեր, աստիճանաձև պրոֆիլներ կամ հակադարձ անցքեր ամրացման համար
- · Y₂O₃-ով պատված մակերես՝ պլազմային դիմադրության բարձրացման համար (ըստ ցանկության)
- · Մասի համարի / խմբաքանակի կոդի լազերային փորագրություն
Նշում.Վերոնշյալ տվյալները խստորեն համապատասխանում են տրամադրված Al₂O₃ հատկությունների աղյուսակին: Si₃N₄ օղակների համար դիմեք տրամադրված առանձին Si₃N₄ տվյալների թերթիկին:
