Սիլիցիումի կարբիդային (SiC) կերամիկական ծայրային էֆեկտոր – բարձր կոշտություն բարձր ջերմաստիճանի վաֆլիների հետ աշխատելու համար
St.Cera-ի SiC կերամիկական ծայրային էֆեկտորը պատրաստված է բարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդից (SiC պարունակությունը՝ 99.72%, ազատ Si՝ 0.05%)՝ օգտագործելով S1111 խմբաքանակի նյութը: Այն առաջարկում է բացառիկ մեխանիկական հատկություններ՝ ճկման ամրություն՝ 449 ՄՊա (չափված), առաձգականության մոդուլ՝ 457 ԳՊա (չափված) և Վիկերսի կարծրություն՝ 25–28 ԳՊա (տիպիկ): Ցածր խտությունը (3.10–3.15 գ/սմ³, տիպիկ) ապահովում է բարձր տեսակարար կոշտություն, որը իդեալական է բարձր արագությամբ վաֆլի փոխանցման ռոբոտների համար: 120–150 Վտ/մ·Կ (տիպիկ) ջերմային հաղորդունակությամբ և 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ ջերմային ընդարձակման գործակցով (տիպիկ), այս ծայրային էֆեկտորը արդյունավետորեն ցրում է ջերմությունը և պահպանում չափային կայունությունը բարձր ջերմաստիճաններում աշխատելու ընթացքում (մինչև 1600–1700°C, առանց բեռի): Սև/մոխրագույն գույնը և զրոյական ջրի կլանումը ապահովում են մաքուր սենյակների համատեղելիություն:
Տեխնիկական բնութագրեր(հիմնված մատակարարված SiC S1111 փորձարկման հաշվետվության և տիպիկ արժեքների վրա)):
| Հողատարածք | Արժեք |
| Նյութ | SiC (99.72% SiC, 0.05% ազատ Si) |
| Գույն | Սև/Մոխրագույն |
| Խտություն | 3.10–3.15 գ/սմ³ |
| Ջրի կլանումը | 0% |
| Ճկման ամրություն | 449 ՄՊա (միջին) |
| Կոտրվածքի դիմացկունություն | 3.12 ՄՊամ·մ¹/² (միջին) |
| Առաձգականության մոդուլ | 457 GPa |
| Վիկերսի կարծրություն | 25–28 GPa |
| Ջերմահաղորդականություն (25°C) | 120–150 Վտ/մ·Կ |
| Ցերեկային ջերմաստիճան (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Առավելագույն օգտագործման ջերմաստիճանը (առանց բեռի) | 1600–1700°C |
Կիրառություններ՝
● Բարձր ջերմաստիճանի վաֆլիների մշակում (հետջերմացում, RTP, էպիտաքսիա)
● Պլազմային փորագրման խցիկներ, որոնք պահանջում են բարձր էրոզիայի դիմադրություն
● Բարձր արագությամբ փոխանցման ռոբոտներ (թեթև, բարձր կոշտությամբ)
Արտադրություն:
SiC փոշու սինտերացում → թևի պրոֆիլի և ամրացման առանձնահատկությունների ճշգրիտ CNC հղկում → մակերեսի հղկում → ուլտրաձայնային մաքրում: 100% չափերի ստուգում և հելիումի արտահոսքի ստուգում վակուումային կիրառությունների համար:
Որակի վերահսկողություն:
● CMM երկարության, լայնության և հարթության ստուգում
● Ճկման ամրության փորձարկում մեկ խմբաքանակի համար (ըստ փորձարկման հաշվետվության ստանդարտի)
● Տեսողական զննում մանրադիտակի տակ՝ մակերեսային թերությունների հայտնաբերման համար
Առավելությունները ալյումինի կամ մետաղի նկատմամբ.
● 2 անգամ ավելի բարձր առաձգականության մոդուլ (457 ընդդեմ ալյումինի ալյումինի ~380 ԳՊա-ի) – ավելի քիչ շեղում
● 3 անգամ ավելի բարձր ջերմահաղորդականություն՝ ավելի արագ ջերմափոխանակություն
● Դիմանում է >1600°C-ին՝ ալյումինի 800°C-ի համեմատ օդում
● Պողպատից ցածր խտություն՝ 40% քաշի նվազեցում
Անհատականացում։
Երկարություններ՝ 150–450 մմ, ծայրերի ձևեր (եզրային բռնակ, Բեռնուլի, հարթ), ամրացման ֆլանշերի նախշեր՝ ըստ OEM նկարի։
*Վերը նշված բոլոր մեխանիկական տվյալները վերցված են տրամադրված փորձարկման արձանագրությունից (խմբաքանակ S1111): Ջերմային և կարծրության արժեքները բնորոշ են այս SiC դասի համար. խնդրում ենք կապվել մեզ հետ՝ խմբաքանակին հատուկ հավաստագրման համար:*
