Ալյումինե գազի բաշխման ափսե CVD/PVD ցնցուղի գլխիկի համար
St.Cera-ի գազի բաշխման թիթեղը (ցնցուղի գլխիկը) ճշգրիտ մեքենայացված է բարձր մաքրության 99.8% ալյումինա կերամիկայից: Այն ունի միկրոանցքերի մի շարք (տրամագիծը՝ 0.3–1.5 մմ), որոնք ապահովում են գազի միատարր հոսքը վաֆլիի մակերեսով CVD, PVD կամ ALD գործընթացների ժամանակ: Թիթեղի բարձր դիէլեկտրիկ ամրությունը (>15×10⁶ Վ/մ) և պլազմային դիմադրությունը այն դարձնում են կարևոր կիսահաղորդչային բարակ թաղանթային նստեցման համար:
Տեխնիկական բնութագրեր՝
| Հողատարածք | Արժեք |
| Նյութ | 99.8% Al₂O₃ կամ SiC |
| Տրամագիծ | 100 – 1500 մմ (կլոր) կամ ուղղանկյուն |
| Հաստություն | 5 – 20 մմ |
| Անցքի տրամագիծը | 0.3 – 1.5 մմ |
| Անցքի նախշ | Պատվերով (եռանկյուն, քառակուսի, ճառագայթային) |
| Հարթություն | ≤10 մկմ ամբողջ մակերեսի վրա |
| Մակերեսի կոպտություն | Ra ≤0.6 մկմ (գազային կողմ) |
| Բաց տարածքի հարաբերակցություն | 5–15% |
Կիրառություններ՝
PECVD ցնցուղի գլխիկի թիթեղներ
ALD գազի ներարկիչներ
Փորագրման խցիկի գազի բաշխման թիթեղներ
MOCVD ռեակտորի բաղադրիչներ
Արտադրություն:
Ալյումինե հիմքի հարթ շերտավորում → CNC հորատում ադամանդե ծածկույթով գործիքներով (անցքի դիրքի հանդուրժողականություն ±0.02 մմ) → քերծվածքների հեռացում → ուլտրաձայնային մաքրում → 100-րդ դասի փաթեթավորում։
Որակի վերահսկողություն:
Յուրաքանչյուր թիթեղ 100%-ով ստուգվում է անցքի չափի (տեսողական համակարգ), հարթության (լազերային ինտերֆերոմետր) և գազի հոսքի միատարրության (ճնշման քարտեզագրման) համար: 20x մանրադիտակի տակ միկրոճաքեր չկան:
Առավելությունները մետաղական թիթեղների նկատմամբ.
Բարակ թաղանթներում մետաղական աղտոտվածություն չկա
Մասնիկների ցածր առաջացում (կոռոզիայի փաթիլներ չկան)
Դիմացկուն է ագրեսիվ մաքրող պլազմային (CF₄, NF₃)
Հատուկ առանձնահատկություններ՝
Հետևի գազային խողովակներ, հակադարձ անցքեր, եզրերի կնիքներ և տարբեր տեսակի նյութեր (SiC՝ ավելի բարձր ջերմահաղորդականության համար, Y₂O₃ ծածկույթ՝ պլազմային դիմադրության համար):
Մենք ապահովում ենք CAD ստուգում և հոսքի մոդելավորում արտադրությունից առաջ։
