Կիսահաղորդչային պրոցեսային հարմարանքների համար կերամիկական հենարանային քորոց
St.Cera-ի կերամիկական հենարանային քորոցները (հայտնի են նաև որպես բարձրացնող կամ հենարանային քորոցներ) օգտագործվում են կիսահաղորդչային պրոցեսային խցիկներում՝ վաֆլիները կամ հիմքերը բարձրացնելու համար մշակման, տաքացման կամ սառեցման ընթացքում: Պատրաստված լինելով 99.8% ալյումինից կամ սիլիցիումի նիտրիդից, այս քորոցները ապահովում են բարձր սեղմման ամրություն, ջերմային կայունություն և քիմիական դիմադրություն: Կիսագնդաձև կամ հարթ ծայրակալի դիզայնը կանխում է վաֆլիների քերծվելը:
Տեխնիկական բնութագրեր(Ալյումինա 99.8%):
| Հողատարածք | Արժեք |
| Նյութ | 99.8% Al₂O₃ կամ Si₃N₄ |
| Երկարություն | 10 – 100 մմ |
| Տրամագիծ | 1 – 10 մմ |
| Հուշման ձև | Հարթ, կիսագնդաձև, սրածայր |
| Սեղմման ամրություն (Al₂O₃) | >2000 ՄՊա |
| Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը (Al₂O₃) | 1600°C |
| Մակերեսի ավարտ | Լափված (Ra ≤0.4 մկմ) |
| Հանդուրժողականություն տրամագծի վրա | ±0.01 մմ |
Կիրառություններ՝
Բարձրացնող քորոցներ CVD/PVD խցիկներում
Հենարանային քորոցներ տաք թխման համար
Զոնդային քարտի հենարանային կառուցվածքներ
Քվարցե վառարանի նավակի հենարաններ
Արտադրություն:
Արտաքին մակերեսի ճշգրիտ անկենտրոն հղկում → ծայրամասի պրոֆիլի ադամանդե հղկում → ուլտրաձայնային մաքրում → 100% չափսերի ստուգում։
Որակի վերահսկողություն:
Երկարության/տրամագծի համար նախատեսված CMM, ծայրի շառավղի օպտիկական համեմատիչ, սեղմման ամրությունը ստուգելու համար բեռնվածության փորձարկում (յուրաքանչյուր խմբաքանակի համար պատահական նմուշ): Ֆերոմագնիսական աղտոտվածություն չկա (ստուգված է մագնիսով):
Առավելությունները մետաղական կամ քվարցե քորոցների նկատմամբ.
5 անգամ ավելի երկար ծառայության ժամկետ, քան չժանգոտվող պողպատը
Գործընթացային խցիկում մետաղական աղտոտվածություն չկա
Ավելի բարձր ջերմաստիճանային ունակություն, քան քվարցը (1600°C ընդդեմ 1100°C)
Չկպչող մակերես (նվազեցնում է մասնիկների կպչունությունը)
Անհատականացում։
Բազմակի ծայրակալի պրոֆիլներ, պտուտակավոր հիմք կամ կոնաձև լիսեռ։
Մենք նաև մատակարարում ենք SiC քորոցներ ծայրահեղ պլազմային միջավայրերի համար։
