Բարձր մաքրության ալյումինա-կերամիկական ծայրային էֆեկտոր վաֆլիների մշակման ռոբոտների համար
St.Cera-ի ալյումինա-կերամիկական ծայրային էֆեկտորը ճշգրիտ մշակվում է 99.8% բարձր մաքրության Al₂O₃-ից՝ օգտագործելով առաջադեմ 5-առանցքանի CNC հղկող սարքավորումներ: Մեր արտադրական հնարավորությունները ներառում են ճշգրիտ հղկող մեքենաներ և CNC մշակման կենտրոններ, որոնք հնարավորություն են տալիս ստանալ բարդ երկրաչափություններ բարձր ճշգրտությամբ: Ծայրային էֆեկտորն ունի բարակ պրոֆիլ (մինչև 1.5 մմ բարակ)՝ կոնաձև առաջատար եզրով՝ վաֆլիների հարթ ներդրման համար: Նյութը ապահովում է բարձր կոշտություն (Յանգի մոդուլ 380 GPa), գերազանց մաշվածության դիմադրություն և ջերմային կայունություն մինչև 800°C: Յուրաքանչյուր միավոր ճշգրիտ հղկվում է՝ 0.003 մմ հարթություն, 0.002 մմ զուգահեռություն և Ra0.1 մակերեսային մշակում ապահովելու համար, ապահովելով վաֆլիների կայուն շփում և մասնիկներից զերծ աշխատանք կիսահաղորդչային FAB միջավայրերում: Հասանելի է 150 մմ-ից մինչև 450 մմ երկարություններով՝ հատուկ ծայրային երկրաչափություններով (եզրային բռնակ, Bernoulli, հարթ) և ամրացման եզրերով՝ OEM ռոբոտներին համապատասխանելու համար: Մակերեսի մշակման տարբերակները ներառում են լաքապատ, հղկված կամ ESD ցրող ծածկույթ (10⁶–10⁹ Ω/քառ.):
Տեխնիկական բնութագրեր (հիմնված 99.8% Al-ի վրա)₂O₃և St.Cera արտադրական հնարավորություններ):
| Հողատարածք | Արժեք |
| Նյութ | 99.8% ալյումինա (փղոսկր) |
| Խտություն | 3.93 գ/սմ³ |
| Ճկման ամրություն | 361 ՄՊա |
| Վիկերսի կարծրություն | 16 GPa |
| Յունգի մոդուլը | 380 ԳՊա |
| Հարթություն | 0.003 մմ |
| Զուգահեռություն | 0.002 մմ |
| Մակերեսի ավարտ | Ra0.1 (լաքապատված/փայլեցված) |
| Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը | 800°C |
| Երկարության միջակայք | 150–450 մմ |
Կիրառություններ՝
- · Վաֆլերի փոխանցում վակուումային և մթնոլորտային ռոբոտներում
- · FAB ավտոմատացման վերջային էֆեկտորներ 200 մմ/300 մմ վաֆլիների համար
- · Բարակ թիթեղների կառավարում (ESD տարբերակով)
Արտադրական կարողություններ՝
Մեր ճշգրիտ հղկող մեքենաները և CNC մեքենամշակման կենտրոնները հնարավորություն են տալիս արտադրել բարդ կերամիկական բաղադրիչներ՝ հետևյալով.
- · Առավելագույն մշակման երկարությունը՝ 1500 մմ
- · Առավելագույն արտաքին տրամագիծը՝ 600 մմ
- · Նվազագույն ներքին տրամագիծը՝ 0.2 մմ
- · Առավելագույն հաստությունը՝ 100 մմ
Որակի վերահսկողություն:
Ուղիղություն՝ 0.005 մմ, ուղղահայացություն՝ 0.005 մմ, կլորություն՝ 0.002 մմ, զուգահեռություն՝ 0.002 մմ, համակենտրոնություն՝ 0.01 մմ, ստուգված CMM-ի կողմից: Յուրաքանչյուր միավոր մաքրվում է ուլտրաձայնային եղանակով և փաթեթավորվում է 100-րդ դասի մաքուր սենյակների համար:
