Ալյումինե PVD մեկուսացման օղակ ֆիզիկական գոլորշու նստեցման համակարգերի համար
St.Cera-ի PVD մեկուսացման օղակը պատրաստված է 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃)՝ ֆիզիկական գոլորշու նստեցման (PVD) համակարգերում օգտագործելու համար: Օղակն ապահովում է էլեկտրական մեկուսացում խցիկի բաղադրիչների միջև՝ կանխելով աղեղի առաջացումը և ապահովելով կայուն պլազմային աշխատանք: Հիմնական հատկություններից են բարձր դիէլեկտրիկ ամրությունը (15×10⁶ Վ/մ), տեսակարար դիմադրությունը >10¹⁴ Ω·մմ²/մ և ջերմային կայունությունը մինչև 1600°C: Մեր ճշգրիտ մեքենայացման հնարավորությունները հասնում են մինչև 600 մմ արտաքին տրամագծերի, մինչև 0.2 մմ ներքին տրամագծերի, 0.003 մմ հարթության և Ra0.1 մակերեսի մշակման: Օղակի զրոյական ծակոտկենությունը և քիմիական իներտությունը ապահովում են երկարատև հուսալիություն ագրեսիվ փոշիացման միջավայրերում:
Տեխնիկական բնութագրեր (հիմնված 99.8% Al-ի վրա)₂O₃և St.Cera արտադրական հնարավորություններ):
| Հողատարածք | Արժեք |
| Նյութ | 99.8% ալյումինա (փղոսկր) |
| Խտություն | 3.93 գ/սմ³ |
| Ճկման ամրություն | 361 ՄՊա |
| Վիկերսի կարծրություն | 16 GPa |
| Դիէլեկտրիկ ամրություն | 15×10⁶ Վ/մ |
| Հատուկ դիմադրություն | >10¹⁴ Ω·մմ²/մ |
| Առավելագույն արտաքին տրամագիծը | 600 մմ |
| Նվազագույն ներքին տրամագիծը | 0.2 մմ |
| Առավելագույն հաստություն | 100 մմ |
| Հարթություն | 0.003 մմ |
| Զուգահեռություն | 0.002 մմ |
| Մակերեսի ավարտ | Ra0.1 |
| Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը | 1600°C |
Կիրառություններ՝
- · PVD համակարգերում թիրախային հենարանային թիթեղների մեկուսիչներ
- · Խցիկի անցման մեկուսիչներ
- · Պաշտպանիչ օղակաձև մեկուսիչներ փոշեցման համակարգերում
- · Բարձր լարման մեկուսացում պլազմային խցիկներում
Արտադրության ճշգրտություն.
Կենտրոնացվածություն՝ 0.01 մմ, կլորություն՝ 0.002 մմ, ուղիղություն՝ 0.005 մմ, ուղղահայացություն՝ 0.005 մմ, ստուգված է CMM-ի կողմից։
AՊոլիմերային մեկուսիչների առավելությունները.
- · Դիմացկուն է 1600°C ջերմաստիճանին՝ համեմատած պոլիմերի <300°C սահմանի հետ
- · Գազերի արտանետում չի առաջացնում՝ պահպանում է վակուումային ամբողջականությունը
- · Դիմադրում է պլազմային էրոզիային և քիմիական ազդեցությանը
Անհատականացում։
Հասանելի են անհատական լայնական կտրվածքներ, ամրացման առանձնահատկություններ, աստիճանների պրոֆիլներ և բազմաթիվ համակենտրոն օղակների դիզայններ։
